2023慕尼黑上海光博會(huì)(LASER World of PHOTONICS CHINA)于7月11-13日在上海國家會(huì)展中心隆重舉行。展會(huì)吸引了全球光學(xué)與光學(xué)制造、檢測與質(zhì)量控制、激光智能制造等領(lǐng)域1100余家企業(yè)參展,八萬余名海內(nèi)外觀眾參觀洽談。兆維集團(tuán)攜自主研發(fā)的OLED顯示面板貼合區(qū)AOI檢測模塊、 LCD切割后邊緣檢查模塊亮相本次展會(huì)。
此次展出的OLED顯示面板貼合區(qū)AOI檢測模塊是OLED顯示面板亞微米裂紋檢測設(shè)備的核心光學(xué)模塊,采用明暗場多光譜成像技術(shù)、工業(yè)AI算法技術(shù),可檢出柔性O(shè)LED顯示器件孔邊緣區(qū)域、2D/2.5D/3D邊緣區(qū)域微米級(jí)裂紋、彩虹紋等缺陷,檢測分辨率最高可達(dá)到0.5微米。LCD 切割后邊緣檢查模塊是顯示面板玻璃板邊緣檢測設(shè)備核心光學(xué)模塊,采用光路轉(zhuǎn)折棱鏡技術(shù)、一體伸縮式載臺(tái)、傳統(tǒng)機(jī)器學(xué)習(xí)與深度學(xué)習(xí)算法結(jié)合技術(shù),可對(duì)顯示面板邊緣的研磨精度和切割精度進(jìn)行量測,進(jìn)行崩邊、毛刺、裂紋等缺陷的自動(dòng)光學(xué)檢測。
當(dāng)前,兆維集團(tuán)依托機(jī)器視覺檢測/量測核心技術(shù),積極向半導(dǎo)體檢測設(shè)備領(lǐng)域進(jìn)行技術(shù)延伸和拓展,面向前道晶圓和先進(jìn)封裝市場,成功研制半導(dǎo)體晶圓級(jí)宏觀缺陷測AOI設(shè)備,采用明/暗場高倍顯微成像、模版比對(duì)結(jié)合深度學(xué)習(xí)的缺陷檢測算法、高速飛拍與精密運(yùn)動(dòng)控制等技術(shù),可以檢出半導(dǎo)體前道晶圓制造ADI、AEI、API、OQA以及先進(jìn)封裝中道等各工藝過程產(chǎn)生的沾污、橋連、顏色異常等缺陷。檢測分辨率實(shí)現(xiàn)從普通成像(幾微米到幾十微米)到高分辨率顯微成像(小于0.25微米)能力創(chuàng)新突破。
展會(huì)上,多家產(chǎn)業(yè)鏈上下游展商、觀眾到兆維集團(tuán)展臺(tái)參觀交流,通過樣品實(shí)測、模型展示、案例交流等方式探討檢測領(lǐng)域前沿技術(shù),尋求顯示面板、半導(dǎo)體、新能源等領(lǐng)域應(yīng)用場景的技術(shù)拓展。
著眼未來,兆維集團(tuán)將繼續(xù)堅(jiān)持科技創(chuàng)新,依托自主“軟件+硬件”技術(shù)開發(fā)平臺(tái),推動(dòng)“檢測+量測”的復(fù)合應(yīng)用,強(qiáng)化產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同聯(lián)動(dòng),為半導(dǎo)體顯示、集成電路等領(lǐng)域行業(yè)客戶提供更為高效精準(zhǔn)的國產(chǎn)化檢測裝備。